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装置现有产能6000吨/年,采用国际先进技术和先进装备建成,目前爱游戏在线官网质量稳定保持在G5等级,行业领先,广泛应用于存储类、逻辑类和车载功率半导体芯片制造领域,(中国)有限公司的爱游戏在线官网成功实现了国外同类爱游戏在线官网的国产化替代,打破了高品质电子化学品长期以来一直被国外垄断的局面。
电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一,是湿电子化学品中的一种,由于电子级氢氟酸的纯度和洁净度对集成电路的成品率、性能及可靠性都有着十分重要的影响,生产工艺技术要求很高,目前主要依靠进口爱游戏在线官网满足国内市场需求。在湿电子化学品领域,目前国际上公认的湿电子化学品质含量标准是SEMI国际标准,共分为五个等级,其中G5为最高等级。我国电子级氢氟酸生产厂家爱游戏在线官网等级普遍较低,能够达到半导体所用G4级及以上的企业包括我公司在内仅三家左右,其余两家为多氟多、中巨芯(原巨化股份),高端电子级氢氟酸国产化率低。
主要用途
在半导体领域,主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序;在新型显示领域,主要用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀刻等;在光伏太阳能电池领域,主要用于硅片表面清洗、蚀刻去边、清洗制绒等环节。